渡部 平司 | 日本電気(株)基礎研究所

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概要

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• 渡部 平司

  日本電気(株)基礎研究所

• 渡部 平司

  日本電気(株)

• 藤田 淳一

  日本電気(株)基礎研

• 藤田 淳一

  筑波大学大学院数理物質科学研究科

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• 馬場 雅和

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• 藤田 淳一

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著作論文

• 電子ビーム励起表面反応を用いたナノメータエッチング
• ZrO_2/SiO_2/Si界面制御とゲート絶縁膜への応用

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