服部 毅 | ソニー(株)半導体事業部

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概要

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• 同名の論文著者
• ソニー(株)半導体事業部の論文著者

関連著者

• 服部 毅

  ソニー(株)半導体事業部

• 服部 毅

  ソニー(株)超LSI研究所

• 嵯峨 幸一郎

  ソニー(株)超LSI研究所

• 小谷田 作夫

  ソニー(株)超LSI研究所

• 嵯峨 幸一郎

  ソニー株式会社

• 服部 毅

  ソニー株式会社

• 服部 毅

  ソニー(株)超lsi研究所基盤技術研究部

• 清田 久晴

  ソニー(株)モノ造り技術センター生産技術推進室生産技術推進課

著作論文

• ウェーハ表面吸着有機物の同定とその除去
• 半導体製造における微粒子の影響とその対策
• 先端半導体CMOSデバイス製造における空調技術の課題と動向

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