村原 正隆 | 東海大 (工)
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概要
関連著者
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村原 正隆
東海大 (工)
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村原 正隆
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東海大
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東海大(工)
著作論文
- エキシマレーザーによるSiCのレジストレスエッチング[IV] -表面励起光依存性-
- エキシマレーザーによるSiCのレジストレスエッチング[II] -エッチヤント圧力依存性-
- 透明SiO_2膜の室温形成 -分解光源の違いによる膜の電気的特性の比較-
- 細菌培養を目的としたフッ素樹脂表面の親水性化処理
- コンタクトレンズ材料を目的としたPMMA表面の親水性化
- ArFエキシマレーザーによるチタンの光化学的表面改質
- エキシマレーザーによるSiCのレジストレスエッチング[III] -VUV光に対するエッチャントガスの吸光係数と分解量-
- CHCIF2を用いた熱酸化シリコン膜のドライエッチング[II]
- エキシマレーザーによるテフロン表面へのSi膜の室温形成