鎌田 尚之 | 東海大 (工)

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概要

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• 鎌田 尚之

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著作論文

• エキシマレーザーによるSiCのレジストレスエッチング[IV] -表面励起光依存性-
• エキシマレーザーによるSiCのレジストレスエッチング[II] -エッチヤント圧力依存性-
• 透明SiO_2膜の室温形成 -分解光源の違いによる膜の電気的特性の比較-
• エキシマレーザーによるSiCのレジストレスエッチング[III] -VUV光に対するエッチャントガスの吸光係数と分解量-
• CHCIF2を用いた熱酸化シリコン膜のドライエッチング[II]
• CHC1F_2を用いた熱酸化シリコン膜のドライエッチング

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