村山 健 | 日立建機ファインテック(株)

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概要

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• 同名の論文著者
• 日立建機ファインテック(株)の論文著者

関連著者

• 保坂 純男

  群馬大学工学部

• 森本 高史

  日立建機ファインテック(株)

• 村山 健

  日立建機ファインテック(株)

• 国友 裕一

  日立建機ファインテック(株)

• 長澤 潔

  日立建機(株)

著作論文

• 大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究 : 第1報,粗微動併用XYステージの応用(機械力学,計測,自動制御)
• 大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究 : 第2報,0.1nm分解能と25mm広域走査の両立(機械力学,計測,自動制御)

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