木村 圭作 | 豊橋技術科学大学 電気・電子工学系
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概要
関連著者
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木村 圭作
豊橋技術科学大学 電気・電子工学系
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滝川 浩史
豊橋技術科学大学
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豊橋技術科学大学 電気電子工学系
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Csiro Australia
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著作論文
- 反応性シールド型真空アーク蒸着法によるAlN膜の合成
- 反応性シールド型真空アークイオンプレーティングによるZnO膜生成
- 反応性シールド型真空アークイオンプレーティングによるZnO膜生成
- 反応性シールド型真空アークイオンプレーティングによるZnO膜生成
- パルス電流真空アークの放電特性とドロップレット抑制効果