高 偉 | 東北大・工
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概要
関連著者
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高 偉
東北大・工
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清野 慧
東北大・工
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中村 泰
オリンパス
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厨川 常元
東北大・工
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厨川 常元
東北大学
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厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノ加工分野
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伊藤 義晃
オリンパス
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厨川 常元
東北大 工
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長池 康成
オリンパス
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荒木 武
(株)日立ディスプレイズ
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清野 慧
京都大学
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荒木 武
東北大・学
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須藤 正守
東北大・院
著作論文
- 313 高精度低測定力機上測定機の開発(OS-10 加工計測・評価)
- 509 2次元角度格子の高精度創成に関する研究(第1報) : 2D-DFTによる2次元角度格子の評価(加工・生産機器)
- 417 2次元角度格子製作システムの開発(第1報) : システムの基本特性(精密加工・測定・生産システム)