小川 真一 | 松下電器産業(株)半導体研究センター

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概要

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関連著者

• 小川 真一

  松下電器産業株式会社半導体社プロセス開発センター

• 小川 真一

  松下電器産業(株)半導体研究センター

著作論文

• 高融点金属/Si界面での固相非晶質化反応
• Co/中間層/(100)Si 構造における直接エピ CoSi_2 形成

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