中野 修 | 三井金属鉱業株式会社銅箔事業本部銅箔事業部技術部
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概要
関連著者
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中野 修
三井金属鉱業株式会社銅箔事業本部銅箔事業部技術部
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山本 拓也
三井金属鉱業株式会社銅箔事業本部銅箔事業部技術部
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平澤 裕
三井金属鉱業株式会社銅箔事業本部銅箔事業部技術部
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片岡 卓
三井金属鉱業株式会社銅箔事業本部銅箔事業部技術部
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片岡 卓
三井金属
著作論文
- サブトラクト法における配線ピッチと銅層許容厚さの実験的考察
- キャリア付き極薄銅箔を用いたダイレクトレーザ穴あけ加工 (MES2000 第10回マイクロエレクトロニクスシンポジウム)
- サブトラクト法における配線ピッチと銅層許容厚さの実験的考察 (MES'99 第9回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集) -- (回路基板(1))
- キャリアー付き極薄銅箔を用いた新工法でのファインパターンの形成 (MES'99 第9回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集) -- (回路基板(1))