佐藤 健夫 | 松下技研(株)超機構研究所
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概要
関連著者
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佐藤 健夫
松下技研(株)超機構研究所
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佐藤 健夫
パナソニックモバイルコミュニケーションズ(株)
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松下電器産業(株)
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Ntt Electronics Technology Corporation
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河田 耕一
高知工科大学
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松下電器産業株式会社半導体社事業本部プロセス開発センター
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東京大学生産技術研究所
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佐藤 健夫
高知工科大
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笹子 勝
松下電器産業(株)
著作論文
- マイクロ放電加工による形状創成(3次元微細形状創成技術)
- 微小部品の表面仕上げ法に関する研究
- KrFエキシマレーザ露光装置用TTLアライメント系の開発
- 放電加工による微細穴加工および微細ポンチの成形(形状創成の高精度化)
- 微細放電加工の研究(第3報) -マイクロ機構の加工-