竹脇 利至 | NEC

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概要

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• 同名の論文著者
• NECの論文著者

関連著者

• 井口 学

  Nec

• 竹脇 利至

  NEC

• 松原 義久

  NEC

• 松原 義久

  日本電気株式会社 Ulsiデバイス開発研究所

• 五味 秀樹

  日本電気株式会社 ULSIデバイス開発研究所

• 五味 秀樹

  NEC ULSIデバイス開発研究所

• 五味 秀樹

  Nec

著作論文

• 0.56μmピッチCu配線の0.15μm CMOS適用
• Cu多層配線技術の開発 (半導体デバイス特集) -- (基盤技術)

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