中村 浩三 | Sumco Techxiv(株)

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概要

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関連著者

• 中村 浩三

  Sumco Techxiv(株)

• 中村 浩三

  コマツ電子金属(株)技術開発本部

著作論文

• 21pRB-7 Czochralskiシリコン結晶成長における点欠陥の挙動と制御(21pRB 領域10シンポジウム:シリコン結晶中の単原子空孔:量子状態解明の新たな展開と半導体技術イノベーション,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 23pYP-6 結晶成長速度と欠陥の性状 レビュー

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