中村 浩三 | コマツ電子金属(株)技術開発本部

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概要

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関連著者

• 中村 浩三

  コマツ電子金属(株)技術開発本部

• 中村 浩三

  Sumco Techxiv(株)

• 最勝寺 俊昭

  コマツ電子金属(株)技術開発本部

• 冨岡 純輔

  コマツ電子金属(株)技術開発本部

著作論文

• シリコン単結晶の成長中における点欠陥の拡散挙動
• 23pYP-6 結晶成長速度と欠陥の性状 レビュー

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