鹿島 一日児 | 東芝セラミックス(株)シリコン事業部

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概要

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• 同名の論文著者
• 東芝セラミックス(株)シリコン事業部の論文著者

関連著者

• 鹿島 一日児

  東芝セラミックス(株)シリコン事業部

• 渡辺 正幸

  東芝セラミックス(株)シリコン事業部

• 中西 秀夫

  東芝セラミックス

• 中西 秀夫

  東芝セラミックス(株)開発研究所

• 平野 均

  (株) 芝浦製作所

• 西堀 史高

  東芝セラミックス(株)シリコン事業部

著作論文

• 結晶成長における熱流動解析の必要性と現状(CZ結晶成長におけるマランゴニの影響)
• GeとBを同時添加されたSi種結晶とCZ-Si育成結晶との界面における格子ミスフィットの定量化 : バルク結晶成長III
• 高温水素アニール処理による次世代LSI用ウエハー

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