三宅 潔 | 日立中研

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概要

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• 日立中研の論文著者

関連著者

• 三宅 潔

  日立中研

• 徳山 巍

  日立中研

• 矢木 邦博

  日立中研

著作論文

• 27p-Q-6 イオンビームを利用した新しい物貭の作製法
• イオンを使った新しい物質形成法
• ドライエッチング法による微細加工 (電子材料特集号) -- (プロセス技術)
• イオンプレ-ティング--イオンビ-ム法 (イオンを用いる薄膜作製技術(技術ノ-ト))
• VLSI製造に応用される励起ビ-ムと固体表面との相互作用 (〔日本質量分析学会〕イオン反応研究部会報告集)

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