青木 伸俊 | (株)東芝ulsi研究所

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概要

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関連著者

• 青木 伸俊

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 青木 伸俊

  (株)東芝ulsi研究所

• 青木 伸俊

  (株)東芝soc開発センター

• 金村 貴永

  (株)東芝 セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 中村 光利

  半導体研究開発センター:株式会社東芝

• 金村 貴永

  東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター

• 中村 光利

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

著作論文

• 酸化工程における中低濃度Pの拡散シミュレーション
• N_2アニールにおけるAsの拡散・活性化シミュレーション

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