大和田 邦樹 | 村田製作所
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概要
関連著者
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大和田 邦樹
村田製作所
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原 鉄三
村田製作所
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吉野 幸夫
村田製作所
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井上 和裕
村田製作所
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竹内 雅樹
村田製作所
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大和田 邦樹
(株)村田製作所
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小林 真司
村田製作所
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根来 泰宏
村田製作所
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持田 洋一
(株)村田製作所横浜開発センタ
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森屋 和文
(株)村田製作所横浜開発センタ
著作論文
- 高周波スパッタリングで作製したZnO薄膜の結晶性と圧電デバイスへの応用
- マイクロマシニング技術によるウェハレベル減圧パッケージの試作とその安定性
- マイクロジャイロの振動特性評価(マイクロ機構の測定・評価技術)
- (110)Siの異方性エッチングを応用した加速度センサ
- マイクロジャイロの現状と展望 (特集 超微細加工:マイクロセンサ・マイクロマシンの最前線)
- 「マイクロジャイロ」の目ざすもの (特集 マイクロマシンが大きく見える)