マイクロジャイロの現状と展望 (特集 超微細加工:マイクロセンサ・マイクロマシンの最前線)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 高周波スパッタリングで作製したZnO薄膜の結晶性と圧電デバイスへの応用
- マイクロマシニング技術によるウェハレベル減圧パッケージの試作とその安定性
- マイクロジャイロの振動特性評価(マイクロ機構の測定・評価技術)
- (110)Siの異方性エッチングを応用した加速度センサ
- マイクロジャイロの現状と展望 (特集 超微細加工:マイクロセンサ・マイクロマシンの最前線)
- 「マイクロジャイロ」の目ざすもの (特集 マイクロマシンが大きく見える)