大和田 邦樹 | (株)村田製作所
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概要
関連著者
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大和田 邦樹
(株)村田製作所
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大和田 邦樹
(株)村田製作所 技術開発本部
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(株)村田製作所横浜開発センタ
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森屋 和文
(株)村田製作所横浜開発センタ
著作論文
- センサ・アクチュエータ用無機能性薄膜プロセス技術 III.ECRスパッタ法を用いたPZT薄膜の形成と評価
- マイクロジャイロの振動特性評価(マイクロ機構の測定・評価技術)
- (株)村田製作所 技術開発本部
- マイクロ波デバイスの国際標準化