上村 康幸 | 東大生研

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概要

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関連著者

• 上村 康幸

  東京大学生産技術研究所

• 谷 泰弘

  東大生研

• 上村 康幸

  東大生研

• 谷 泰弘

  立命館大学理工学部

• 谷 泰弘

  東京大学生産技術研究所

• 佐藤 壽芳

  中央大学理工学部

• 佐藤 壽芳

  東京大学

• 佐藤 壽芳

  東京大学生産技術研究所第2部(元)

• 渡部 和

  日立ビアメカニクス

• 盧 毅申

  東大生研

• 高 綺

  東大生研

• 邱 暁明

  東大

• 盧 毅申

  東京大学生産技術研究所

• 高 綺

  元東京大学院学生

• 佐藤 壽芳

  中央大

• [キュウ] 暁明

  東大

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著作論文

• 2焦点レンズを用いたSiウェーハの厚み測定
• 416 複合粒子研磨法 : 小径キャリア粒子の適用(OS15 研磨技術)
• シリカ砥粒入り研磨パッドの開発
• 光散乱法を用いた前加工面の残留判定
• 静圧浮上工具方式による切削加工技術の特徴

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