池田 隆英 | 日立中研

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概要

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• 日立中研の論文著者

関連著者

• 池田 隆英

  日立中研

• 田村 誠男

  日立中研

• 槌本 尚

  日立中研

• 徳山 巍

  日立中研

• 森田 忠久

  日立中研

著作論文

• 8p-E-10 イオン打込みによって生じたSi中の欠陥(II)
• 7a-E-8 イオン打込みによって生じたSi中の欠陥
• シリコンのホツトインプランデーシヨン : 半導体 (拡散・インプランテーション)
• イオン打込みによるシリコン結晶の欠陥 : 半導体 (拡散・インプランテーション)

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