阿部 孝夫 | 信越半導体(株)磯部研究所
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概要
関連著者
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阿部 孝夫
信越半導体(株)磯部研究所
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信越半導体磯部研究所
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中野 正剛
信越半導体磯部研究所
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阿賀 浩司
信越半導体磯部研究所
著作論文
- 20世紀とシリコン単結晶
- 役に立つ研究
- 貼り合わせSOIウエハーの今後の展開 -作製と評価-
- ULSIのための貼り合わせSOI基板とその製作技術
- 大直径シリコンウェーハの超平たん化技術 ( ミクロを創る 2.半導体-2)
- ULSI のための貼り合わせ SOI 技術
- ULSI時代のシリコン単結晶の課題(機能素子・部品と単結晶育成)
- 大口径ウェハのための次世代加工技術 (特集 大口径ウェハのための次世代加工技術)
- 2011年日本結晶成長学会特別講演会「バルク半導体結晶開発に見る温故知新」感想文(学会活動報告)