広瀬 喜久治 | 大阪大学工学研究科
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概要
関連著者
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広瀬 喜久治
大阪大学工学研究科
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森 勇蔵
大阪大学工学部
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三洋電機(株)
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大阪大学工学研究科
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大阪大学工学研究科
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樽井 久樹
三洋電機(株)
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木山 精一
(株)三洋電機
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木山 精一
三洋電機株式会社 株式会社ジーティシー
著作論文
- EMM(Elastic Emission Machining)における表面原子除去過程の第一原理分子動力学シミュレーション
- 回転電極を用いた大気圧プラズマCVDによるSi薄膜の高速成膜に関する研究(第3報) -a-Si : H成膜プロセスにおけるパウダーの影響-
- 回転電極を用いた高圧力プラズマCVDによるSi薄膜の高速成膜に関する研究(第1報) -成膜装置の試作とその成膜特性-