落合 勲 | 日立製作所中央研究所
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概要
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落合 勲
日立製作所中央研究所
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日立 中研
著作論文
- 原子状水素によるGaAs、InP表面の低温クリーニング
- 塩素吸着したGaAs表面からの放射光刺激脱離
- プラズマフォーカスによるリソグラフィ用 X 線源
- 2. プラズマ・フォーカスからの軟 X 線の計測