鈴木 健一郎 | 日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所lsi基礎研究部

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著作論文

• 1)空中超音波フェーズドアレイとその応用システム(テレビジョン電子装置研究会)
• 空中超音波フェーズドアレイとその応用システム : 電子装置
• 半導体プロセスを用いたLIGAマスクの作製方法
• 高濃度ボロン拡散シリコンダイアフラムの機械的特性
• シリコンメカニカルセンサへの応用
• 平成10年度センサ・マイクロマシン部門(E部門)総合研究会報告

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