真野 敦 | 静岡県富士工業技術センタ

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概要

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• 同名の論文著者
• 静岡県富士工業技術センタの論文著者

関連著者

• 真野 敦

  静岡県富士工業技術センタ

• 杉山 治

  静岡県富士工業技術センター

• 斎藤 順雄

  宮崎大学

• 杉山 治

  静岡県静岡工業技術センター

• 岩田 弘

  香川高等専門学校機械工学科

• 藤田 真宏

  宮崎大学

• 岩田 弘

  高松工専

• 仲秋 勇

  静岡県静岡工業技術センタ

• 齋藤 順雄

  高松工業高等専門学校

• 杉山 治

  静岡県静岡工業技術センタ

著作論文

• Heを導入したスパッタ法によるa-SiC:H薄膜の微結晶化

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