太田 泰光 | ワッカー NSCE R & D グループ品質評価チーム
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概要
ワッカー NSCE R & D グループ品質評価チーム | 論文
- 窒素添加によるCZ-Si結晶のgrown-in欠陥挙動(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
- 窒素添加によるCZ-Si結晶欠陥制御 : シリコン(21世紀を担うバルク単結晶)
- 技術論文 窒素添加によるシリコン結晶欠陥制御とArアニールウェーハ (シリコンウェーハ特集)
- 窒素添加によるチョクラルスキーシリコン中の結晶欠陥制御
- Si結晶内のボイド状欠陥成長機構(バルク成長分科会特集 : シリコン結晶の最近の話題から)