馬場 哲郎 | 熊本テクノロジー

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概要

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熊本テクノロジー | 論文

• スティックスリップ補償と連続軌跡追従制御に基づく超音波アクチュエータ駆動精密ステージの一制御法
• SPIDER駆動精密ステージの位置決め制御における実験的摩擦補償法
• 摩擦モデルに基づく非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの一制御法
• 非共振型超音波モータを用いた精密ステージの連続軌跡追従制御系の構成法
• 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発:第4報

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