土田 秀次 | 京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター

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概要

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• 同名の論文著者
• 京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センターの論文著者

京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター | 論文

• 高速重イオンを利用したイメージング質量分析
• ガスクラスターイオンビームの大電流化及び表面高機能化
• レーザ誘起昇温脱離法(LITD)によるプラズマエッチング中の試料表面の評価
• 分子動力学法を用いたFイオン照射によるSi表面エッチングのシミュレーション
• クラスターイオンビーム技術の最近の進展

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