谷口 秀哉 | アオイ電子(株)
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概要
アオイ電子(株) | 論文
- フォトリソ技術によるマイクロ金型とこれを用いた微小部品(J21-2 静電アクチュエータ・MEMS技術応用,J21 マイクロメカトロニクス)
- Ti超塑性合金を用いたマイクロ金型の製造技術
- マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ[1] : 超厚膜樹脂を用いた高精度なマイクロ光学ベンチの製作
- アオイ電子株式会社MEMSグループ
- 1123 AFMピンセットシステムの開発(要旨講演,マイクロメカトロニクス)