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久保田 節 | 日本放送協会放送技術研究所新機能デバイス研究部
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日本放送協会放送技術研究所新機能デバイス研究部の論文著者
日本放送協会放送技術研究所新機能デバイス研究部 | 論文
軟X線照射を用いたシリコンマイクロホン電荷蓄積技術の開発(センサーデバイス,MEMS,一般)
低電圧動作シリコンマイクロホン (情報センシング)
低電圧動作シリコンマイク ('07[NHK]技研公開 講演・研究発表特集号)
高性能シリコンマイクロホンの周波数特性改善および動作電圧低減に向けた要素技術の開発
シリコンマイクの高域特性の改善
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