古川 和由 | 東芝半導体事業本部

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概要

• 同名の論文著者
• 東芝半導体事業本部の論文著者

東芝半導体事業本部 | 論文

• ESRを用いた層間膜中水分によるMOSFET特性劣化メカニズム検討
• 電位測定およびD-OBICによるAI配線ショート箇所検出手法検討-配線TEGのショート箇所特定化
• 全反射蛍光X線分析法による表面汚染元素の超高感度評価
• マルチプロセッサASCA用カスタムプロセッサMAPLE
• 半導体A(シリコン)

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