三ッ石 創 | (株)ニコン

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概要

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(株)ニコン | 論文

• アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化(機械力学,計測,自動制御)
• 露光装置の地震対策 : —ソフトランディングによる装置保護—
• 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果(機械力学,計測,自動制御)
• 空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制(機械力学,計測,自動制御)
• ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正

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