PALM William | Department of Mechanical Engineering, University of California
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概要
Department of Mechanical Engineering, University of California | 論文
- レーザアニールによるSi 薄膜溶融, 結晶化過程の実時間観測と結晶の高品質化
- レーザーアニールによるSi薄膜溶融, 結晶化過程に基づく高性能poly-Si結晶化技術
- TED-AJ03-335 SUB-DIFFRACTION LIMIT SIZED MICROMACHINING OF CRYSTALLINE SILICON BY FEMTOSECOND LASER PULSES
- レーザアニールによるSi薄膜の溶融、結晶化過程の実時間観測
- レーザアニールによるSi薄膜の溶融、結晶化過程の実時間観測