李 成華 | 韓国LG電子(株)

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概要

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論文 | ランダム

• 29a-ZW-5 CZシリコンウェーハ表面のピットが熱酸化膜の耐圧に及ぼす影響
• 29a-ZW-3 COP欠陥の検討 I
• 28p-ZW-12 pn接合リーク電流のOi依存性
• 28p-ZW-11 エピ層膜厚の薄膜化による電気的特性への影響
• 28p-ZW-6 内側全反射法によるSiウェーハー鏡面直下の極微小欠陥の検出

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