森田 襟 | 東芝生産技術センター

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概要

• 同名の論文著者
• 東芝生産技術センターの論文著者

東芝生産技術センター | 論文

• Cu CMP 後洗浄技術
• 遊星歯車減速機を内蔵した小型サーボアクチュエータの開発(OS12 アクチュエータシステム)
• センサレス制御のためのIPMSMのパラメータ同定と誤差の影響に関する実験的検討
• 220 小型遊星歯車減速機を内蔵した高トルクアクチュエータの開発
• ピボット動圧モータの開発と特性評価

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