絹脇 康春 | 熊本大学医学部病理学教室

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論文 | ランダム

• プラズマ中のダスト挙動の解析とクーロン結晶の形成
• Si(NCO)_4添加のフロロカーボンプラズマを用いた低誘電率絶縁膜のCVD
• 3.強結合ダストプラズマの結晶化と遷移(ダストプラズマの現状と課題)
• クーロン結晶と強結合プラズマ
• テトライソシアネートシランを用いたSiO_2膜の堆積

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