粟野 祐二 | 半導体先端テクノロジーズ
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概要
半導体先端テクノロジーズ | 論文
- ポーラスSiOCダイレクトCMP後洗浄における界面活性剤のHLB効果
- 第1回環太平洋プラナリゼーションCMPとその応用技術に関する国際会議2004
- Ruバリアメタル構造のCu配線におけるCu研磨時のガルバニック腐食制御(配線・実装技術と関連材料技術)
- 代替フロン(CF3I)を用いたLow-k膜エッチング技術 (全冊特集 新材料の導入と半導体製造装置)
- EUVリソグラフィーを用いた70nmピッチCu/ポーラス低誘電率膜デュアルダマシンインテグレーションの基礎検討(配線・実装技術と関連材料技術)