中村 久三 | 日本真空技術株式会社超材料研究所

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概要

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• 日本真空技術株式会社超材料研究所の論文著者

日本真空技術株式会社超材料研究所 | 論文

• 強誘電体メモリ量産用強誘電体スパッタ技術
• 強誘電体メモリ量産用強誘電体スパッタ技術
• 強誘電体スパッタ薄膜の組成制御および高速成膜技術
• 湿式と乾式, どつち?
• 200nmPLZTスパッタ薄膜の強誘電特性

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