田中 一平 | コマツ電子金属

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概要

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• コマツ電子金属の論文著者

コマツ電子金属 | 論文

• シリコン単結晶の酸素濃度均一性と融液の蒸発
• シリコン単結晶中の酸素濃度制御技術の開発
• CZ-Si結晶中酸素濃度均一性と融液自由表面からのSiO蒸発(バルク成長分科会特集 : 結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響)
• 高性能・微細ひずみSOI-MOSFET
• 高性能・部分空乏型および完全空乏型ひずみSOI-MOSFET(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

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