林 厳雄 | 光技術研究開発(株)つくば研究所

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光技術研究開発(株)つくば研究所 | 論文

• 真空一貫プロセスによるGaAsのin situ電子ビームリソグラフィ
• 2p-PSA-50 原子状水素によるGaAs表面酸化膜の除去機構
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