原子状水素によるGaAs表面酸化膜の除去機構

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1994-07-10

著者

• 山田 正理

  光技術研究開発(株)つくば研究所

• 井手 雄一

  光技術研究開発(株)つくば研究所

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