国部 利寿 | 日本真空技術 (株) 超材料研究所

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概要

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• 日本真空技術 (株) 超材料研究所の論文著者

日本真空技術 (株) 超材料研究所 | 論文

• 偏光解析モニタのプロセス装置への組み込みに対する対策
• 偏光解析法を利用した膜厚モニタ
• 偏光解析法による薄膜の自動インライン評価
• 酸素プラズマによるGaAs, Siの陽極酸化
• 鋼板の連続アルミナイジング

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