榎並 浩 | 高松工専

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概要

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• 高松工専の論文著者

高松工専 | 論文

• スパッタ法によるInN薄膜-水素添加の影響-
• マグネトロンスパッタ法によるInN薄膜の作成と特性
• 三元系水素化アモルファス薄膜a-SiCO:Hの作成と特性
• スパッタ法によるアモルファスGeCO:H薄膜
• 反応性スパッタ法による酸素添加a-GeC : H薄膜

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