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中田 一郎 | 財団法人小林理学研究所
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財団法人小林理学研究所 | 論文
軟X線照射を用いたシリコンマイクロホン電荷蓄積技術の開発(センサーデバイス,MEMS,一般)
高性能シリコンマイクロホンの周波数特性改善および動作電圧低減に向けた要素技術の開発
シリコンマイクの高域特性の改善
放送用コンデンサ型シリコンマイクロホンの試作
コンデンサ型シリコンマイクロホンの開発
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