手塚 明 | 独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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概要
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 | 論文
- 放射光による大面積微細加工システム(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- 放射光による大面積微細加工システム (特集 微細加工技術)
- ニュースバルの到達点
- 430 光強度分布X線マスクによる微細3次元加工の検討(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- 425 X線マスクの回転によるマイクロ構造体の傾斜面の形成(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)