稲吉 さかえ | (株)アルバック

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概要

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• (株)アルバックの論文著者

(株)アルバック | 論文

• スパッタを用いたITO膜の成膜技術
• 大面積触媒CVD装置の開発
• Cat-CVD 法を用いて成膜したSiNx膜における水素添加の効果
• 固体YAG2 ωグリーンレーザーによる再結晶化シリコン薄膜の解析(2004先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア太平洋会議)
• 固体YAG2 ωグリーンレーザーによる再結晶化シリコン薄膜の解析(2004先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア太平洋会議)

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