Cat-CVD 法を用いて成膜したSiNx膜における水素添加の効果

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概要

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• 2007-07-12

著者

• 浅利 伸

  (株)アルバック

• 斉藤 一也

  (株)アルバック

• 藤長 徹志

  (株)アルバック

• 山本 裕子

  (株)アルバック

• 高木 牧子

  (株)アルバック

• 橋本 征典

  (株)アルバック

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