高森 隆勝 | 北海道大学工学部 工博

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概要

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• 北海道大学工学部 工博の論文著者

論文 | ランダム

• イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術
• 膀胱癌における糖鎖抗原の解析
• イオン注入SOG膜のCMPプロセスへの適用
• TiN/Tiキャップ層を有するAl積層配線のエレクトロマイグレーション
• 2層Al配線におけるビアコンタクトでの界面反応

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