中尾 節男 | (独)産業技術総合研究所 サステナブルマテリアル研究部門
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概要
関連著者
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中尾 節男
(独)産業技術総合研究所 サステナブルマテリアル研究部門
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日本工業大学工学部
著作論文
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- 正・負高電圧パルス型プラズマ利用イオン注入法で作製したSi含有DLC膜(I) : Si含有量と耐熱性及び摩擦摩耗特性